国内光刻胶行业国产化进程及部分厂商发展进展汇总分析

国内半导体光刻胶国产化率极低，供应不稳定性催化半导体光刻胶自主可控需求。目前国内实现产业化的光刻胶生产企业主要集中于PCB及面板领域，半导体领域特别是高端品种仍需进口。根据前瞻产业研究院数据，目前从事半导体用光刻胶研发和产业化的企业则多以i线、g线光刻胶生产为主，2021年国内G线、I线光刻胶国产化率已达10%，KrF以上的高端光刻胶品种基本处于研发状态，国产化率仅为1%。2021年初，日本光刻胶龙头信越化学工厂遭遇地震产能受限，对国内部分晶圆厂限供/断供KrF光刻胶，即便其他国外厂商补充了部分产能，但仍存在较大缺口。此外近年来全球地缘政治摩擦加剧，国内半导体产业对于关键材料自主可控的需求更加紧迫，国产光刻胶有望加速导入。

国内光刻胶行业国产化及进口替代情况

资料来源：2021年晶瑞电材可转债募集说明书

目前国内半导体光刻胶进展较快的公司包括彤程新材、华懋科技、晶瑞电材、上海新阳等。分产品看：g/i线光刻胶：国内北京科华、徐州博康、苏州瑞红已实现大规模量产，已导入国内头部半导体企业，市场份额逐渐提升。KrF光刻胶：北京科华和徐州博康进展较快，2022年已有多个品种实现销售；此外苏州瑞红及上海新阳也实现了量产突破。ArF光刻胶：南大光电推出国内通过客户验证的第一只国产ArF光刻胶，并实现少量销售，华懋科技、上海新阳也有相关产品进行测试导入。EUV光刻胶：当前国内并无EUV光刻机，各厂商EUV光刻胶尚处于理论研究阶段。

目前部分国内半导体光刻胶企业进展

资料来源：相关公司公告