MEMS技术发展历程及2023-2027年全球MEMS市场规模增长与预测

发布时间：2024-04-17　　来源：立鼎产业研究网　点击量： 127　

MEMS是微电子技术和微机械技术的巧妙结合为，分为MEMS和传感器和MEMS执行器。MEMS即微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），是利用大规模集成电路制造技术和微加工技术，把微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、电源以及通信接口等集成在一片或者多片芯片上的微型器件或系统，具有体积小、成本低、可靠性强等特点。MEMS器件种类众多，主要分为MEMS传感器和MEMS执行器，MEMS传感器可以感知和测量物体的特定状态和变化，并按一定规律将被测量的状态和变化转变为电信号或者其它可用信号，MEMS执行器则将控制信号转变为微小机械运动或机械操作。

常见的 MEMS 器件分类

资料来源：公开资料

MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的高新技术之一，经过数十年的发展，已广泛应用于消费电子、汽车、工业与通信、医疗健康、高可靠等领域。从发展历程看，MEMS起源可追溯至20世纪50年代，硅的压阻效应被发现后，学者们开始了对硅传感器的研究；20世纪70年代末-90年代，安全气囊、制动压力、轮胎压力检测系统等应用需求增长推动了MEMS行业发展的第一次浪潮，压力传感器和加速度计取得快速发展；20世纪90年代末-21世纪初，信息技术的兴起和微光学器件的需求推动了MEMS行业发展的第二次浪潮，MEMS惯性传感器与MEMS执行器取得共同发展，1991年，电容式微加速度计开始被研制，1998年美国Draper实验室研制出了较早的MEMS陀螺仪，1994年德州仪器以光学MEMS微镜为基础推岀投影仪，21世纪初MEMS喷墨打印头出现；2010年至今，产品应用场景的日益丰富推动了MEMS行业发展的第三次浪潮，如高性能的MEMS陀螺仪在工业仪器、航空、机器人等多方面得到应用。MEMS商业化将MEMS技术从最早的汽车应用领域向航空、工业和消费电子等领域不断扩展。

MEMS技术发展历程

资料来源：公开资料

MEMS 应用范围广阔，市场规模较为可观。根据Yole 数据，2018 年，MEMS 行业全球市场规模约为 100 亿美元，预计到2027 年将增长到约 223 亿美元，期间 CAGR 约为 9.3%；按照下游行业应用划分，根据 Yole 数据，2022 年，消费电子、汽车、工业是MEMS 行业最大的三个细分市场，三者市场规模合计达128 亿美元；按照产品结构划分，陀螺仪、加速度计、磁力计、惯性传感组合统一归类为 MEMS惯性传感器，2022 年市场规模合计约37.83 亿美元，较为可观。