高性能MEMS惯性传感器行业进入壁垒搞、技术先进，市场需求规模可观

高性能 MEMS 惯性传感器对参数指标的要求高，在新结构、新工艺的加持下，技术水平先进。MEMS陀螺仪的性能及技术水平是高性能 MEMS 惯性传感器行业技术水平的集中体现，对 MEMS 结构设计、工艺、ASIC 设计的要求较高，故以MEMS陀螺仪为例加以说明：结构设计方面，高性能MEMS 陀螺仪从传统的双质量块方案向四质量块、多环结构等新型对称结构发展，灵敏度、抗干扰性和精度得到提高，工艺方面，从传统的硅-玻璃工艺过渡到全硅工艺，且晶圆级高真空技术、薄膜吸气技术被采用，材料不匹配引起的测量偏差得到有效降低，电路设计方面，采用数模混合 ASIC 电路，满足高性能MEMS陀螺仪体积小、功耗低的要求。因此，高性能 MEMS 惯性传感器采用的技术水平更高，性能表现更加优异，可满足部分高端应用场景的需求。

业内各公司MEMS陀螺仪技术水平情况

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高性能 MEMS 惯性传感器主要应用于高端工业、无人系统、高可靠等领域，市场规模较为可观，行业集中度较高。根据 Yole统计数据，2021年，全世界高性能MEMS惯性传感器市场规模约 45.23 亿元人民币（含MEMS惯性传感器系统），市场份额集中在Honeywell、ADI、Northrop Grumman/Litef 等行业巨头手中，市场份额前三的公司合计占有 50%以上的份额，市场集中度较高。

2021全球高性能MEMS惯性传感器市场情况（万元人民币）

资料来源：Yole