国内单晶炉市场主要由国产厂商占据主要份额，自研/外购两种模式共存

国内SiC晶体生长设备厂商技术及产业应用经验成熟，占据国内主要市场份额，具体可分为：专业晶体生长设备供应商、采用自研/自产设备供应模式的SiC衬底材料厂商。自研/自产模式为国内产业进入较早厂商的主要模式，主要系初期设备配套产业链不完善；近年来外购为新进SiC厂商的主要模式，如三安光电、天岳先进等。未来拟大规模扩产的新进厂商，如比亚迪、广州南砂晶圆半导体、北京世纪金光半导体、河北天达晶阳半导体、安徽微芯长江半导体等，均选择外购模式。

1）晶体生长设备供应商：国内可分为三个梯队。a）公司及北方华创为国内SiC单晶炉主要厂商，技术领先，且产品已大批量交付多家国内下游SiC材料主流厂商；b）宁波恒普真空科技已向下游SiC厂商小批量交付，沈阳中科汉达主要为自产/自研设备SiC厂商配套生产供应SiC单晶炉主要部件；c）其他厂商，如连城数控、哈尔滨科友半导体、山东力冠微电子、厦门天三半导体、上海汉虹精密机械、苏州优晶光电科技、磐石创新（江苏）电子及江苏卓远半导体等，多数处于样机开发及验证阶段，未批量供应设备。

2）自研/自产设备的SiC衬底材料厂商：包括天科合达、晶盛机电、露笑科技、同光半导体、山西烁科晶体等，其自研/自产晶体生长设备主要用于其SiC衬底的生产制造，不对外大批量销售设备。

近年来新进 SiC厂商多选择外购主要晶体生长设备

料来源：晶升股份发行人及保荐机构第三轮问询回复意见

自研/自产模式厂商向供应商采购主要部件或转为外购模式，预计外购模式占比持续提升。目前，部分自研/自产模式的SiC厂商采用自研及委托加工模式进行设备供应：如河北同光半导体向沈阳中科汉达采购设备主要部件；天岳先进初期选择自研/自产模式，后续逐步转向外购设备。根据公司发行人及保荐机构第三轮问询回复意见（22.11.09），未来自研/自产模式设备厂商的产能在SiC厂商总扩产产能中占比约31.41%-34.69%，外购模式占据主要地位，随产业链分工进一步精细化，对外采购设备的材料厂商占比有望增长。

国内主要两类 SiC 晶体生长设备厂商

资料来源：晶升股份发行人及保荐机构第三轮问询回复意见

两种模式的产能在SiC厂商规划扩产产能中占比

资料来源：晶升股份发行人及保荐机构第三轮问询回复意见