国内电子特气主要供应商、产品布局及其2021-2022年特气营收规模汇总

——电子气体主要用于电子领域的生产过程中，要求极高的纯度和质量标准。电子气体包括电子大宗气体和电子特种气体，是指在电子工业中应用的高纯度气体，主要用于集成电路、LED、显示面板、光伏等电子领域的生产过程中，其中集成电路制造涉及上千道工序，工艺极其复杂，需使用上百种电子特种气体。电子大宗气体包括氮气、氩气、氧气、氢气等，是气体保护、热处理、清洗等方面的重要材料，电子特种气体主要应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节。电子气体和普通工业气体相比，要求更高的纯度。因此，电子气体的制备和供应需要采用极为严格的工艺和控制标准，以确保其符合严格的质量要求。

电子特气各应用行业及其用途

资料来源：中船特气招股说明书

集成电路制造需要用到多种特定功能的气体，包括大宗气体、Ⅲ族和Ⅴ族原子气体、卤化气体、高纯氨、硅烷等，这些气体需要具备极高的纯度和精度要求。集成电路制造过程中的成膜、掺杂、蚀刻、清洗、封装等工艺需要具有特定功能的气体，例如氮气、氢气、氧气等大宗气体，用于掺杂的乙硼烷、三氯化硼、磷烷等Ⅲ族和Ⅴ族原子气体，用于光刻的氪氖混合气、氟氖混合气，用于刻蚀的卤化气体，用于成膜的高纯氨、硅烷，用于气相沉积的卤化物金属气体，用于清洗的氟类混合气体等。

气体纯度是电子特种气体重要指标之一，直接影响芯片的良品率和可靠性, 随着集成电路制造工艺的迭代升级，线宽越来越窄，晶体管密度越来越高，对电子特气的纯度、稳定性等指标的要求也越来越高，电子气体纯度往往要求 99.999%（5N）以上级别，部分气体纯度需要达到 99.9999%（6N）及以上，还要将金属元素净化到 10 -9 级至 10 -12 级。

——国内电子气体市场仍高度依赖国际龙头公司。据 TECHCET 统计，2020年林德集团、液化空气、太阳日酸、空气化工等国际四大气体公司就占据全球电子气体市场份额的77%。相比之下，国内气体企业仅拥有约12%的份额。主要的原因为国际龙头厂商一般同时开展大宗电子气体和特种电子气体业务，通过现场制气的方式提供整体解决方案，为用户创造了较强的粘性，同时也为国内晚进入者设置了技术专利壁垒和客户壁垒，故此国产替代空间仍相对宽阔。

2020年全球电子气体市场份额

资料来源：TECHCET

内资厂商迎头赶上，铆定优势品种发展。在内资厂商中，中船特气、华特气体、南大光电、昊华科技、金宏气体等为零售气市场的重要企业。国内特种气体企业逐渐增多，但是仍在发展各自优势的气体品类，一般来说国内企业往往专注于一类气体的产品线和应用领域，尚未形成覆盖多个工艺环节的特种气体解决方案供应商。例如金宏的优势品种为超纯氨、高纯氧化亚氮、正硅酸乙酯、高纯二氧化碳等特种气体、电子级氧、氮等，主要应用在沉积环节，而中船特气主要优势为含氟气体，主要用在刻蚀环节。

国内气体公司主要布局

资料来源：各公司公告