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湿电子化学品是面板/IC制造的关键性材料,种类丰富应用广泛

发布时间:2022-06-01  来源:立鼎产业研究网  点击量: 1920 

湿电子化学品是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料,是半导体、显示面板、太阳能电池、LED 等制作过程中不可缺少的关键性材料之一,用于制造过程中的清洗、刻蚀、涂胶、显影、去胶等各个环节,其质量优劣会直接影响电子产品的成品率、电性能和可靠性,也对微电子制造技术的产业化有重大影响。

湿电子化学品一般可划分为通用湿电子化学品和功能湿电子化学品,通用湿电子化学品指在半导体、显示面板、太阳能电池等制造工艺中被大量使用的液体化学品,一般为单成份、单功能化学品,例如氢氟酸、硫酸、氢氧化钠、氢氧化钾等。功能湿电子化学品指通过复配手段达到特殊功能、满足制造中特殊工艺需求的复配类化学品,例如显影液、剥离液、蚀刻液、稀释液、清洗液等。

湿电子化学品分类


资料来源:格林达招股书

具体来看,通用湿电子化学品由于应用更为广泛,用量明显更高。据中国电子材料行业协会数据,2019 年我国湿电子化学品需求量中,通用湿电子化学品用量占比高达 88%,其中又以过氧化氢、氢氟酸、硫酸、硝酸等用量较多;而显影液、蚀刻液、剥离液等功能湿电子化学品则通常仅用于特定工序,因此用量相对较少,但由于复配类化学品除纯化工艺外,还涉及到不同成分的配比问题,其研发和生产的难度及单价通常会相对更高。

2019年我国湿化学品分类及需求占比


资料来源:中国电子材料行业协会

湿化学品作为对产品性能、可靠性、成品率有直接影响的关键性材料,通常要求超净、高纯,对于金属杂质、颗粒数等都有严苛的要求。按照 SEMI 标准,湿化学品通常可由低到高分为 G1-G5 五个等级,对于金属杂质、颗粒数等的要求也依次更高,而不同应用领域对于湿化学品的要求也不同,要求最高的 IC 制造领域通常会要求达到G4G5 等级。

湿电子化学品SEMI国际标准等级


资料来源:格林达招股书


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