湿电子化学品纯度要求不断提高，SEMI标准是其国际标准等级

湿电子化学品是电子行业湿法制程的关键材料，上承基础化工，下接电子信息。湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支，是微电子、光电子湿法工艺制程（主要包括湿法蚀刻、清洗、显影、互联等）中使用的各种液体化工材料，其上游是基础化工产品，下游是电子信息产业，生产工艺主要采用物理的提纯技术及混配技术，将工业级的化工原料提纯为超净高纯化学试剂，并按照特定的配方混配为具有特定功能性的化学试剂。湿电子化学品行业是精细化工和电子信息行业交叉的领域，其行业特色充分融入了两大行业的自身特点，具有产品规格多、单个品种用量少、产品更新换代快、质控要求高、对生产及使用环境洁净度要求高、产品附加值高、资金投入量大等特点。

按照组成成分和应用工艺不同，可将湿电子化学品分为通用湿化学品和功能性湿化学品两大类。通用湿化学品以超净高纯溶剂为主，一般为单组份、单功能、被大量使用的液体化学品，例如氢氟酸、硫酸、氢氧化钠、氢氧化钾等；功能性湿化学品是指在单一的超净高纯试剂（或多种超净高纯试剂的配合）基础上，加入水、有机溶剂、螯合剂、表面活性剂混合而成的化学品，例如显影液、剥离液、蚀刻液、稀释液、清洗液等。

湿电子化学品要求超净、高纯

资料来源：江化微公告

湿电子化学品上承基础化工，下接电子信息产业

资料来源：江化微公告、格林达公告

按照组成成分和应用工艺，可将湿电子化学品分为通用湿化学品和功能性湿化学品两大类

资料来源：格林达公告、晶瑞电材公告

随着电子元器件制作要求的提高，相关行业应用对湿电子化学品纯度的要求也不断提高。为了适应电子信息产业微处理工艺技术水平不断提高的趋势，并规范世界超净高纯试剂的标准，国际半导体设备与材料组织（SEMI）将湿电子化学品按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。湿电子化学品在各应用领域的产品标准有所不同，集成电路工艺用电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3 及以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4 水平。

SEMI标准是湿电子化学品的国际标准等级

资料来源：SEMI

注：线宽指 IC 生产工艺可达到的最小导线宽度，是 IC 工艺先进水平的主要指标。≥1.2μm和0.8-1.2μm的硅片主要用于制作分立器件；0.2-0.6μm和0.09-0.2μm 的硅片主要用于大规模集成电路和超大规模集成电路制造中