2019年半导体电子气体市场规模及市场竞争格局分析

电子特气是集成电路、平板显示、LED、太阳能电池等泛半导体领域生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，并对最终产品产生较大影响，被誉为电子产业的“粮食”和“血液”。按照使用场景的不同，电子气体可以被分为“硅族气体、掺杂气体、刻蚀清洗气体、反应气体、沉积气体”等。

电子特气分类

资料来源：公开资料

电子特气在半导体应用领域极为广泛，被大量应用于外延、刻蚀、镀膜、掺杂等核心半导体工序。

1、CVD气体：在半导体工业中，在衬底上选用化学气相沉积（CVD）方式沉积薄膜的过程中所采用的气体成为CVD 气体。依据成膜品类的不同所使用的气体也不同，常用硅烷、二氯二氢硅、氯硅烷、磷烷、硼烷、六氟化钨、笑气等作为化学反应气体；同时用氦气、氩气、氮气、氢气等作为稀释和运载气体。

2、刻蚀气体：半导体刻蚀的过程是利用高化学活性的等离子与晶圆特定区域发生化学反应的过程，在此过程中所需要用到的气体成为刻蚀气体。根据刻蚀材质的不同，刻蚀气体的种类分为氯硅烷、四氯化碳、氧气、四氟化碳、氯气等

3、掺杂气体：在半导体制造过程中，需要对硅晶圆特定的区域掺入特定的杂质元素从而形成特定的导电结构（电阻、PN 结等）。掺杂工艺中所使用的气体成为掺杂气体，包括砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、乙硼烷等掺杂源以及氩气、氮气等运载气体。

4、其他应用：除上述应用以外，在光刻、清洗、晶圆制备的过程中也会有电子特气的参与。

电子特气在半导体价值链中名利前茅，仅次于硅片。SEMI 报告统计，2017 年整体晶圆制造材料销售总金额分别为278 亿美元；其中，占比较高的依次为硅片（31%）、电子气体（14%）、掩膜版(14%)。

电子特气在半导体工艺中的应用

资料来源：公开资料

晶圆制造过程中各材料占比

资料来源：公开资料

根据上述数据可得：2017年全球电子气体销售额约为38.92亿美元，WSTS数据显示全球半导体销售规模将从2017 年4122 亿美元增长至2019年4901 亿美元，由此估算2019年半导体电子气体市场规模约为46.28亿美元。

半导体电子气体市场规模

资料来源：WSTS

从市场竞争格局角度来看，我国电子气体呈寡头垄断格局，且市场份额几乎全部集中于美、日、英、法等海外厂商手中。国产供应商寥寥，某种程度上是因为电子气体提纯工艺复杂且国内厂商起步较晚的原因。

我国电子气体市场竞争格局

资料来源：立鼎产业研究中心