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半导体单晶硅炉行业全球龙头多以自供为主,国内自给率仅约30%

发布时间:2024-01-25  来源:立鼎产业研究网  点击量: 243 

晶体生长设备为半导体产业链上游支撑产业的基础和起点,对后续的切磨抛等工序而言极为重要。二氧化硅经过硅的纯化、多晶硅制造、单晶生长、切片、磨片倒角刻蚀、抛光、清洗、检测、包装环节得到晶圆。其中,单晶硅的纯度对于后续晶圆加工、芯片良率十分关键。目前半导体级单晶硅炉长晶方式(晶体制备方法)主要包括直拉法(CZ 法)和区熔法(FZ 法)两类,直拉法为国内外厂商采用的主流制备方法。

硅片制备流程


资料来源:晶升股份招股说明书

半导体级单晶硅炉长晶方式


资料来源:晶升股份招股说明书

长晶设备的重要性还体现在价值量方面:和8英寸相比,12英寸半导体级单晶硅炉的单炉价格、每万片所需单晶炉的总购置费都将大幅增加。根据立昂微招股说明书及《非公开发行股票申请文件的反馈意见之回复(修订稿)》,其“年产180万片集成电路用12英寸硅片”项目设备总购置费共33.30亿元,其中需48台单晶炉,单炉平均价格约524万元/台,单晶炉总购置费共2.52亿元;“年产120万片集成电路用8英寸硅片”项目设备总购置费共5.09亿元,其中需30台单晶炉,单炉平均价格约296万元/台,单晶炉总购置费共0.89亿元。对应计算得出,月产1万片128英寸硅片平均对应单晶炉购置费用分别为1677.87888.00万元,单晶炉在总体设备购置费占比分别为7.56%17.43%

月产1万片128英寸半导体用硅片对应单晶硅炉购置费用


资料来源:立昂微招股说明书,立昂微《非公开发行股票申请文件的反馈意见之回复(修订稿)》

全球龙头企业长晶炉多以自供为主。硅片制造行业技术壁垒高、研发周期长、资金投入大且下游验证周期长,市场集中度较高,主要被日本信越化学、日本胜高、中国台湾环球晶圆、德国世创和韩国 SK 五大企业占据,2021 年合计占比约 94%。为保证晶体生长设备适配半导体材料制造工艺技术方案,国际主要半导体材料厂商经过数十年积累的先进工艺和控制策略,使用的晶体生长设备均主要为自行研发生产(如日本信越化学和日本胜高),未对外采购及销售。其他国际主流厂商主要通过自制及向国际晶体生长设备供应商(如PVA TePla AGS-TECH Co., Ltd.等公司)采购晶体生长设备。

国内半导体硅片产业起步相对较晚,国内硅片厂商发展初期主要引入国外硅片厂商成熟技术路线、技术团队发展硅片业务,使用晶体生长设备以国外供应商为主。国内半导体级硅片厂商主要向S-TECH Co.,Ltd.等国际供应商采购晶体生长设备,国内晶体生长供应商占国内硅片厂商采购份额仅为 30%左右。

2021年全球半导体硅片竞争格局


资料来源:Omdia

国内半导体级硅片制造商及其长晶设备供应商


资料来源:晶升股份招股说明书

国内主要半导体级硅片制造厂商业务、客户及供应商情况


资料来源:晶升股份招股说明书援引各公司公告

 


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