2021年全球半导体清洗设备行业市场格局及国内市场厂商中标情况分析

全球清洗设备市场高度集中，海外四大厂占据份额达达98%。根据Gartner统计，2020年全球半导体清洗设备市场中，日本迪恩士Screen/日本东京电子TEL/韩国细美事SEMES/美国泛林Lam Research市场占有率分别为45.1%/25.3%/14.8%/12.5%，四家公司合计市场占有率达到97.7%，市场集中度很高，国内厂商占比较低。

2020年全球半导体清洗设备市场厂商竞争格局

资料来源：Gartner

目前中国大陆半导体清洗设备相关企业主要包括盛美上海、北方华创、芯源微及至纯科技等。国内公司产品陆续进入国内龙头半导体生产企业的供应链中。根据我们统计的2016-2021年中国大陆三家典型晶圆厂长江存储/华力集成/华虹无锡的清洗设备招标情况，按照设备台数计算，国内市场的半导体清洗设备采购数量共计318台，其中国产设备数量99台，国产化率约31%。国产品牌中，盛美上海设备中标为数量为73台，占比23%，比例仅次于日本迪恩士的38%。

中国大陆三座典型晶圆厂半导体清洗设备招标采购中标份额

资料来源：中国国际招标网

注：数据范围为相关网站公布的长江存储（2017~2021年）、华力集成（2016~2021年）、华虹无锡（2018~2021年）的招标数据，数据截至2021年10月18日

——长江存储：2017-2021年共采购清洗设备164台标，其中盛美上海共中标35台，占比21.34%。盛美上海中标产品主要包括各类型单片式清洗机，中标设备数仅次于日本厂商迪恩士，国产中标厂商还包括芯矽科技、北方华创、屹唐股份。

长江存储2017~2021设备招标清洗设备各厂商中标比例

资料来源：中国国际招标网

——华力集成：2016-2021年共采购清洗设备102台，其中盛美上海共中标19台，占比18.63%。盛美上海中标仅次于日本迪恩士，中标产品涵盖前段、后段工艺的清洗设备，同时北方华创、芯源微亦获得采购。

华力集成2016~2021设备招标清洗设备各厂商中标比例

资料来源：中国国际招标网

——华虹无锡：2018-2021共采购清洗设备52台，其中盛美上海19台，占比36.54%，仅次于迪恩士。其中，盛美上海中标19台设备涵盖前后段制程，涉及铜线聚合体剥离、铝线及通孔清洗、多晶硅氧化膜硅片再生、扩散炉前清洗等环节，产品应用较为多样。

华虹无锡2018~2021设备招标清洗设备各厂商中标比例

资料来源：中国国际招标网

国产设备汇总：2016-2021年三家晶圆生产企业共采购国产清洗设备99台，其中盛海美上海73台，占比73.7%，盛美上海中标的设备涵盖前后段制程的清洗设备，凭借着产品多样化和技术先进的优势，在国产品牌中保持领先。

中国国产清洗设备招标数量明细（台）

资料来源：中国国际招标网