2023年TOPCon电池设备行业竞争格局：参与玩家众多，薄膜沉积设备为核心

TOPCon为N型硅衬底电池，是一种基于选择性载流子原理的隧穿氧化层钝化接触电池技术。其与PERC的差异主要是电池背面由超薄二氧化硅层（1-2nm）和磷掺杂多晶硅层共同形成的钝化接触结构，其中隧穿氧化层大幅降低了界面复合、同时允许多数载流子有效地隧穿到掺杂多晶硅层，掺杂多晶硅层则与基体形成n+/n高低场、能够阻止少数载流子运动至表面从而形成选择性钝化接触。

TOPCon电池结构示意图

资料来源：英利光伏

TOPCon近产线投资强度接近PERC与，与PERC产线兼容性强且转换成本低。目前新建TOPCon产线设备投资额为1.8~2亿元/GW，略高于PERC的1.3~1.5亿元/GW。其中TOPCon电池产线可基于现有PERC产线升级改造实现，主要增加硼扩散设备、薄膜沉积设备、激光SE设备等，单GW转换成本仅为0.6~0.8亿元，大部分2020年之后扩产的PERC产线均预留了升级为TOPCon的改造空间。

PERC+SE工艺流程

资料来源：太阳能杂志

TOPCon工艺流程

资料来源：太阳能杂志

薄膜沉积设备为TOPCon核心设备，主要有LPCVD、PECVD、PVD三种技术路线。目前LPCVD方案为市场主流，即隧穿氧化层采取热氧、多晶硅层采取LPCVD（本征+离子注入/磷扩），该方法较成熟且可靠性高，但绕镀问题较为严重。

TOPCon电池薄膜沉积三种技术路线对比

资料来源：公开资料

TOPCon设备领域参与玩家众多。捷佳伟创、拉普拉斯均具备 TOPCon 多流程工艺设备研发能力，其中捷佳伟创能够交付 TOPCon 整线设备；海目星、帝尔激光、捷佳伟创、英诺激光等均有专注于激光设备在 TOPCon 技术路线上的应用；京山轻机、金辰股份等厂商则致力于核心环节镀膜设备研发。

TOPCon设备竞争格局情况，核心增量设备包括：扩散炉+CVD设备+激光SE设备

资料来源：各公司公告