富创精密：国内半导体设备精密零部件龙头企业，公司收入规模快速增长

富创精密成立于 2008 年，深耕半导体设备精密零部件制造领域，是国家级专精特新“小巨人”企业、国家“02 重大专项”及国家智能制造新模式应用项目承担单位。公司坚持自主研发金属材料零部件精密制造技术，掌握了精密机械制造、表面处理特种工艺、焊接、组装、检测等多种制造工艺，是全球少数能够量产应用于 7 纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司产品具备高精密、高洁净、高耐腐蚀、耐击穿电压等性能，应用的半导体设备覆盖集成电路制造中刻蚀、薄膜沉积、光刻及涂胶显影、化学机械抛光、离子注入等核心环节，客户既包括 A 客户、东京电子、HITACHIHigh-Tech 和 ASMI 等国际知名半导体设备企业，也包括北方华创、屹唐股份、中微公司、芯源微等国内主流半导体设备企业。

——2008 年富创精密正式成立，成立之初就面向半导体零部件市场，2011、2014 年先后两次承担国家“02 重大专项”项目，通过持续自主研发投入，掌握了部分精密零部件制造技术及特种涂层喷涂工艺等表面处理特种工艺核心技术，具备了一套完整的复合焊接工艺，相关技术达到了主流国际客户标准，2011 年进入海外龙头 A 客户供应链。从成立之初的 90nm以上制程到如今为 7nm 制程工艺设备提供精密零部件，公司实现了半导体设备部分精密零部件国产化的自主可控，先后为上海微电、拓荆科技、北方华创、中科信装备等国内知名半导体设备企业提供精密零部件的研发及量产配套服务，打入国际半导体设备龙头客户 A、东京电子、VAT、HITACHI High-Tech、ASMI 等多个全球半导体设备龙头厂商供应链体系。

创精密主要产品、技术及客户演变情况

资料来源：公司资料

——半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备作为晶圆制造的重要生产工具，需要贴合下游需求不断迭代升级。而半导体设备精密零部件作为半导体设备制造技术含量较高的环节，其工艺突破是推动半导体设备制程进步的关键因素，也是国内半导体设备企业亟待突破的“卡脖子”环节之一。公司量产的精密零部件产品超千种，具备百级和千级洁净间和半导体级别的洁净检测能力，达到了全球半导体设备龙头企业的标准。同时，精密零部件需要先后进行质量、工艺、性能等多方面认证方能获得半导体设备企业首件试制资格，验证通过后才能量产，全部流程持续 2-3 年，因而达成合作关系后黏性较强，公司与国内外龙头客户合作稳定，有望充分受益于半导体设备市场发展。

富创精密所处产业链位置

资料来源：公司资料

1）工艺零部件：晶圆制备工艺的关键零部件，在半导体设备中与晶圆直接接触或直接参与晶圆反应，主要应用于刻蚀设备、薄膜沉积设备，也少量应用于离子注入设备和高温扩散设备等。公司工艺零部件包括腔体、内衬和匀气盘，系公司技术要求最高的业务，部分产品应用于7纳米制程的半导体前道设备，2021年实现收入1.78亿元，占总收入比例达21.2%。公司工艺零部件产品在耐腐蚀性、密封性、洁净度、真空度、耐击穿电压和微孔加工等多项指标均达到或高于主流客户要求。

2：）结构零部件：在半导体设备中一般起连接、支撑和冷却等作用，广泛应用于半导体设备、面板及光伏等领域。公司结构零部件产品种类繁多，主要按客户定制要求进行生产，2021年实现收入3.52亿元，占总收入比例达41.8%。结构零部件贡献了公司收入的主要部分，系其工艺制程相对简单，公司与客户往往从结构零部件生产开始合作。公司部分结构零部件产品同样应用于7纳米制程的半导体前道设备，在上述性能及机械加工精度上达到国际主流客户要求。

3）模组产品：由自制的工艺零部件、结构零部件与外购的电子标准件和机械标准件等经组装测试而成。公司的模组产品系新开拓的产品品类，主要包括离子注入机模组、传输腔模组、过渡腔模组、刻蚀阀体模组和气柜模组等，标准化程度较高，通过客户验证后得到批量化生产，2021年实现收入1.61亿元，占总收入比例达19.1%。模组产品的销售方式优化了半导体设备的生产流程和交付周期，随着半导体产业的持续发展，未来市场对模组产品的需求有望进一步增加，为公司业绩增长赋能。

4：）气体管路产品：用于半导体设备中的特殊工艺气体传送，是连接气源到反应腔的传输管道。公司生产的气体管路主要应用于离子注入设备、刻蚀设备和薄膜沉积设备等，2021年实现收入1.38亿元，占总收入比例达16.3%。由于半导体设备厂商难以排除气体污染，对气体管路产品质量要求极高，公司利用超洁净管路焊接技术及清洗技术结合自身工艺保证了产品的优良品质，达到了国际主流客户的严苛标准。

——公司营业收入从2018年的2.25亿元增长至2021年的8.43亿元，CAGR达55.34%；归母净利润从2018年的686万元增长至2021年的1.26亿元，CAGR达164.16%。主因半导体行业景气度持续回升叠加半导体设备国产化趋势，公司不断得到境内外客户认可，实现产品销售的迅速放量。公司2022年前三季度实现收入10.13亿元，同比增长76.7%；实现归母净利润1.63亿元，同比增长98.4%。合同负债和存货平稳上升，未来增长确定性较强。从合同负债指标来看，公司从2020年6.5万元大幅增加至2021年的1903万元，2022年前三季度1273万元，开启扩产能的道路。从存货来看，公司同样于2021年开始存货扩张，从2020年1.3亿增加至2.6亿元。

富创精密收入、利润及增速

资料来源：公司资料

富创精密毛利率与净利率

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气体管路产品通过核心客户认证，营收占比迅速攀升。公司和客户的合作往往从结构零部件开始，向性能更高的工艺零部件延伸，两大业务共同形成了60%以上的营业收入；模组产品和气体管路标准化程度较高，一旦通过验证容易批量化生产，快速拉动公司收入和利润规模。2020-2021年，公司多种气体管路产品陆续通过客户A、北方华创等核心客户认证，持续量产供货，21年收入规模较19年增长24倍，营收占比也迅速攀升至16.3%。

公司毛利率整体处于稳定水平，模组产品毛利率逐步提升。2019年行业景气度羸弱，且当年预投产能转固大幅增加折旧与摊销，产能利用率较低，各类产品及整体毛利率处于较低水平，除去当年影响，公司毛利率整体围绕32%上下浮动。公司模组产品属于高度定制化品类，随着其产品质量和交付周期不断得到客户认可，销量提升和工序优化能够带来规模效应，叠加公司模组产品结构持续优化，应用于半导体设备领域的占比提高，双重因素有望推动公司模组产品毛利率提升。公司不同型号产品尺寸、性能、附加值和客户应用的定制化半导体设备差异较大，单价和毛利率差异较大。例如，工艺零部件单价基本在1,000-200,000元/件之间，而结构零部件的单价基本在50-50,000元/件不等，产品结构的变动是影响公司财务指标的重要因素。

富创精密营业收入拆分（按产品）

资料来源：公司资料

富创精密分产品毛利率

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国产化加速，内外占比提升，但内销毛利率低于外销。公司营收主要销往国际半导体设备厂商在北美和亚洲的组装工厂。随着国内半导体设备厂商的崛起，公司内销收入占比逐年提升，从2019年的15.34%上升至2021年的39.32%。但因外销客户产品技术先进性和性能稳定性更高（如7nm产品均为外销），且公司开拓国内客户给予一定让价，所以相比外销，公司内销毛利率更低。未来随着内销毛利率的上升，且随着公司高毛利产品占比提升，整体毛利率有望维持稳定水平。