（具体研究目录请联系客服）
静电卡盘(E-CHUCK)为精密陶瓷零部件中技术难度较高的一类，是高端半导体设备的核心零部件。静电卡盘是适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。其由陶瓷外壳、电极、气体通道、粘接材料以及基板构成，利用晶圆片与电极之间通过不同种电荷之间的库仑力相互吸引，使晶圆片稳定在电极上。按照介电层材料不同，静电卡盘可分为Coulomb力模型和J-R力模型，库伦型仅存在计划电荷，形成标准静电吸引力；而J-R型可形成强电场，吸力大于库伦型。目前市面上库伦型占据主导。
在半导体精密制造领域，静电卡盘由于其优秀的特性逐步替代了机械卡盘与真空卡盘。与机械卡盘相比，静电卡盘减少了机械运动部件，颗粒污染降低，减少对于硅片表面的损坏，增大了晶片的有效面积；真空卡盘容易留下吸附压痕，且不能用于低压强环境，在低压强、需要利用卡盘控制晶片温度的场景被静电卡盘取代。
第一章静电卡盘行业概述
第一节静电卡盘定义及分类
一、行业定义
二、行业主要产品分类
第二节静电卡盘发展基本特征分析
一、行业周期性分析
二、行业区域性分析
三、行业季节性分析
四、行业经营模式分析
五、行业盈利性分析
六、行业竞争烈程度分析
七、行业成熟度分析
第三节全球静电卡盘市场
一、全球发展现状
二、全球市场规模增长
三、全球市场区域分布
四、全球市场竞争格局
五、全球市场发展趋势
第二章静电卡盘行业发展环境分析
第一节静电卡盘政策环境分析
一、行业管理体制
二、行业主要法规
三、行业主要政策
四、行业主要标准
五、政策环境对行业的影响分析
第二节静电卡盘经济环境分析
一、行业经济环境
二、经济环境对行业的影响分析
第三节静电卡盘技术环境分析
一、行业技术水平及特点
二、行业技术趋势
第四节静电卡盘社会环境分析
一、行业社会环境
二、社会环境对行业的影响分析
第三章静电卡盘行业产业链分析
第一节静电卡盘产业链
第二节静电卡盘上游行业影响分析
一、上游行业发展现状
二、上游行业发展预测
三、上游行业对本行业的影响分析
第三节静电卡盘下游行业影响分析
一、下游行业发展现状
二、下游行业发展预测
三、下游行业对本行业的影响分析
第四章静电卡盘行业发展现状及市场供需分析
第一节静电卡盘发展现状分析
一、行业发展历程
二、行业现状特征
第二节静电卡盘供给状况分析
第三节影响静电卡盘供给能力的主要因素分析
第四节静电卡盘需求状况分析
一、行业需求增长分析
二、行业需求格局分析
第五章静电卡盘行业经济运行指标分析
第一节静电卡盘行业规模分析
一、收入规模增长分析
二、利润规模增长分析
三、资产规模增长分析
第二节静电卡盘盈利能力分析
一、行业盈利能力增长分析
二、行业营运能力增长分析
三、行业偿债能力增长分析
四、行业发展能力增长分析
第六章静电卡盘行业市场竞争格局分析
第一节静电卡盘竞争态势分析
一、价格竞争分析
二、品牌竞争分析
三、技术竞争分析
第二节静电卡盘集中度分析
一、企业集中度分析
二、区域集中度分析
第三节静电卡盘企业提升竞争力策略分析
第七章静电卡盘行业重点企业分析
第一节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第二节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第三节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第四节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第五节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第六节其他厂商
一、xxx
二、xxx
三、xxx
四、....
第九章静电卡盘行业趋势预测分析
第一节静电卡盘发展趋势分析
一、行业产品趋势
二、行业技术趋势
三、行业渠道趋势
四、行业竞争格局趋势
第二节静电卡盘供需预测分析
第十章静电卡盘行业投资前景与风险分析
第一节静电卡盘投资前景分析
一、产业链投资机会
二、细分市场投资机会
三、区域市场投资机会
四、细分行业投资机会
第二节静电卡盘投资风险分析
一、市场竞争风险
二、原材料压力风险分析
三、技术风险分析
四、政策和体制风险
五、经济波动风险
第三节立鼎专家投资建议
静电卡盘(E-CHUCK)为精密陶瓷零部件中技术难度较高的一类，是高端半导体设备的核心零部件。静电卡盘是适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。其由陶瓷外壳、电极、气体通道、粘接材料以及基板构成，利用晶圆片与电极之间通过不同种电荷之间的库仑力相互吸引，使晶圆片稳定在电极上。按照介电层材料不同，静电卡盘可分为Coulomb力模型和J-R力模型，库伦型仅存在计划电荷，形成标准静电吸引力；而J-R型可形成强电场，吸力大于库伦型。目前市面上库伦型占据主导。
静电卡盘结构图
来源：Shinko，立鼎产业研究中心
静电卡盘分类对比
来源：CNKI，立鼎产业研究中心
在技术方面，静电卡盘的发展趋势主要表现为所承载晶圆规格尺寸逐步扩大、温度均匀性控制需求即分区温控温区数量的提升。刻蚀工艺中，晶圆温度大约在 100℃量级，晶圆和静电卡盘间的气体热传递主要依靠气体的热传导。随着静电卡盘工作环境温度的升高，高温或热冲击极有可能导致现有静电卡盘产品中成熟的粘接方式失效，因此高温技术以及多温区控制技术对于确保整个盘面的精细、稳定以及提升最终产品性能、芯片良率起到关键作用。在 2000 年前后，分区温控温区数量一般为 2 区，而现阶段已有超过 100 温区的静电卡盘产品被研发生产，投入实际应用。在半导体精密制造领域，静电卡盘由于其优秀的特性逐步替代了机械卡盘与真空卡盘。与机械卡盘相比，静电卡盘减少了机械运动部件，颗粒污染降低，减少对于硅片表面的损坏，增大了晶片的有效面积；真空卡盘容易留下吸附压痕，且不能用于低压强环境，在低压强、需要利用卡盘控制晶片温度的场景被静电卡盘取代。
卡盘原理及应用场景对比
来源：CNKI，立鼎产业研究中心
市场技术壁垒高，目前由日本与美国企业主导，Applied Materials、Lam Research、新光电气(Shinko)分别占据xxx%、xxx%、xxx%的收入份额，行业 CR3 达到 85%。xxx年中国静电卡盘市场规模为xxx亿美元，约占全球市场的xxx%，但国内仅有华卓精科、海拓创新、中瓷电子等极少数厂商能够生产，国产化率%。第一章静电卡盘行业概述
第一节静电卡盘定义及分类
一、行业定义
二、行业主要产品分类
第二节静电卡盘发展基本特征分析
一、行业周期性分析
二、行业区域性分析
三、行业季节性分析
四、行业经营模式分析
五、行业盈利性分析
六、行业竞争烈程度分析
七、行业成熟度分析
第三节全球静电卡盘市场
一、全球发展现状
二、全球市场规模增长
三、全球市场区域分布
四、全球市场竞争格局
五、全球市场发展趋势
第二章静电卡盘行业发展环境分析
第一节静电卡盘政策环境分析
一、行业管理体制
二、行业主要法规
三、行业主要政策
四、行业主要标准
五、政策环境对行业的影响分析
第二节静电卡盘经济环境分析
一、行业经济环境
二、经济环境对行业的影响分析
第三节静电卡盘技术环境分析
一、行业技术水平及特点
二、行业技术趋势
第四节静电卡盘社会环境分析
一、行业社会环境
二、社会环境对行业的影响分析
第三章静电卡盘行业产业链分析
第一节静电卡盘产业链
第二节静电卡盘上游行业影响分析
一、上游行业发展现状
二、上游行业发展预测
三、上游行业对本行业的影响分析
第三节静电卡盘下游行业影响分析
一、下游行业发展现状
二、下游行业发展预测
三、下游行业对本行业的影响分析
第四章静电卡盘行业发展现状及市场供需分析
第一节静电卡盘发展现状分析
一、行业发展历程
二、行业现状特征
第二节静电卡盘供给状况分析
第三节影响静电卡盘供给能力的主要因素分析
第四节静电卡盘需求状况分析
一、行业需求增长分析
二、行业需求格局分析
第五章静电卡盘行业经济运行指标分析
第一节静电卡盘行业规模分析
一、收入规模增长分析
二、利润规模增长分析
三、资产规模增长分析
第二节静电卡盘盈利能力分析
一、行业盈利能力增长分析
二、行业营运能力增长分析
三、行业偿债能力增长分析
四、行业发展能力增长分析
第六章静电卡盘行业市场竞争格局分析
第一节静电卡盘竞争态势分析
一、价格竞争分析
二、品牌竞争分析
三、技术竞争分析
第二节静电卡盘集中度分析
一、企业集中度分析
二、区域集中度分析
第三节静电卡盘企业提升竞争力策略分析
第七章静电卡盘行业重点企业分析
第一节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第二节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第三节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第四节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第五节xxx
一、企业概述
二、竞争优势分析
三、企业经营分析
四、发展动态分析
第六节其他厂商
一、xxx
二、xxx
三、xxx
四、....
第九章静电卡盘行业趋势预测分析
第一节静电卡盘发展趋势分析
一、行业产品趋势
二、行业技术趋势
三、行业渠道趋势
四、行业竞争格局趋势
第二节静电卡盘供需预测分析
第十章静电卡盘行业投资前景与风险分析
第一节静电卡盘投资前景分析
一、产业链投资机会
二、细分市场投资机会
三、区域市场投资机会
四、细分行业投资机会
第二节静电卡盘投资风险分析
一、市场竞争风险
二、原材料压力风险分析
三、技术风险分析
四、政策和体制风险
五、经济波动风险
第三节立鼎专家投资建议
略••••完整报告请咨询客服
