微导纳米：先进薄膜沉积设备供应商，2018-2022年公司营收高速增长
微导纳米是一家以ALD技术为核心的薄膜沉积设备供应商。公司是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，目前公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展的产品体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供先进薄膜设备、配套产品及服务。
公司产品广泛应用于光伏、半导体等多个应用领域。公司目前已开发出多款薄膜沉积设备，涵盖ALD、PEALD二合一、PECVD等系列产品，下游应用领域包括半导体、光伏、新型显示、微机电（MEMS）、高功率及高频率器件、催化及生物医药等，其中半导体、光伏领域产品矩阵更为丰富，贡献公司主要收入及订单来源。
公司的发展历程主要分为五个阶段，目前正处于战略升级发展阶段。
①首台产品研发验证阶段（2015年12月-2017年7月）：公司成立之初即开始原型机研发，于2016年底形成原型机KF1000主机（夸父KF系列原子层沉积系统，主要运用ALD技术，对晶硅太阳能电池表面Al2O3钝化膜进行制备，下同），并持续进行工艺调试。该原型机仅为单腔体主机，未包含材料传输结构，尚不具备产业化生产能力。公司一代量产机型KF4000于2017年初开始工艺验证，于2017年中开始试量产。
②下游龙头客户攻坚阶段（2017年8月-2018年5月）：凭借工艺验证的初步结果，公司集中拜访国内电池片行业龙头企业，陆续与光伏下游行业龙头企业签订样机试用协议。通过产品与客户产线的磨合，推进公司产品在PERC电池钝化工艺上的突破。公司2017年下半年开始进行KF6000机型和以臭氧工艺为核心工艺的KF10000S机型的研发事宜，2018年中KF6000机型进行量产验证。
③市场与产品突破阶段（2018年5月-2018年12月）：随着KF6000机型在下游头部企业开始量产爬坡，由于产品的示范作用和带头效应，公司产品在行业内知名度进一步提升。同时，公司积极推进产品线的拓宽计划，启动半导体领域与柔性电子领域机型的研发工作。
④加速发展阶段（2019年1月-2020年12月）：公司臭氧工艺与等离子体技术陆续取得突破，KF10000S机型与ZR4000×2机型（祝融ZR管式PEALD系统，集成PEALD与PECVD技术，同一台设备可完成PERC电池或TOPCon电池Al2O3膜和SiNx膜，或TOPCon电池超薄SiOx隧穿层和掺杂多晶硅薄膜的制备）先后研制成功，公司产品得到有效推广，在光伏领域的知名度进一步提升。
半导体领域，凤凰系列样机（凤凰P系列原子层沉积镀膜系统，运用ALD技术，主要用于单片型12寸及8寸晶圆生产中的氧化物、氮化物及金属镀膜工艺）于2019年初搭建完成并进行工艺调试。公司在此平台上开发了Al2O3、HfO2、ZrO2、TiO2、SiO2等单片镀膜工艺。公司于2020年初进行了麒麟（麒麟QL系列原子层沉积镀膜系统，采用ALD技术，用于批量型12寸及8寸晶圆生产中氧化物、氮化物及金属镀膜工艺）、凤凰系列新机型和龙系列团簇平台（龙Dragon系列真空传输系统，用于半导体先进制程的晶圆真空传输系统）的立项启动工作，并着手建立产业化应用中心，配备更高级别的洁净室与半导体级检测设备。
⑤战略升级发展阶段（2020年12月-至今）：在光伏领域，公司ZR5000×2批量型PEALD镀膜系统以及KF10000S、KF15000等高端光伏装备陆续获得包括阿特斯、隆基股份、爱旭股份、晶科能源等多家重要光伏客户订单，并在通威太阳能、无锡尚德等N型TOPCon高效电池生产线上开展应用；在半导体领域，公司首套用于300mm（12英寸）晶圆的High-k栅氧层薄膜沉积的ALD设备已实现销售，实现国产半导体ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破。针对国内半导体薄膜沉积各细分应用领域研发试制新型ALD设备陆续取得进展；在其他应用领域，公司自主开发的FG系列卷对卷设备能够在大幅宽的材料表面沉积阻隔层，实现较低的水汽渗透率，具备良好的阻水阻氧能力，已实现产业化应用。
公司已进入战略升级发展阶段，光伏、半导体等领域不断取得突破
资料来源：公司资料
自主研发驱动发展，持续加大研发投入。随着技术和应用领域的不断发展，下游客户对薄膜沉积设备工艺路线、材料类型、技术指标等要求也不断变化，公司紧跟行业技术发展趋势，持续推进新产品、新工艺研发，研发投入金额保持快速增长。公司研发支出（均为费用化开支）从2018年的0.35亿元大幅提升至2022年的1.38亿元，年复合增速达到41.34%，2022年研发费用占营收比重为20.22%，维持在较高的水准。
研发人员快速增长，团队规模逐渐壮大。公司高度重视自主研发，以海内外专家为核心，积极引入和培养一批经验丰富的电气、工艺、机械、软件等领域工程师，2022年末研发人员达到241人，占比达到23.08%，较2018年62人快速增长，研发团队的构建将不断助力公司下游应用领域关键产品和技术的攻关与突破。
公司持续加大研发投入
资料来源：公司资料
公司研发技术人员数量逐年增长
资料来源：公司资料
公司持续推进光伏及半导体领域技术研发，并逐步延伸至新能源、柔性电子、新型显示等领域。公司继续深化开发薄膜沉积技术在下一代光伏电池、半导体各细分应用、柔性电子等应用领域的技术和产品储备，并已在下游行业多家知名公司进行产品验证。2022 年公司研发投入 1.38 亿元，其中半导体领域研发投入占比约为55.19%，投向包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发投入占比约为 37.47%，投向包括公司 TOPCon、XBC、钙钛矿/异质结叠层电池等新一代高效电池技术等项目。
公司主要研发项目及进展
资料来源：公司资料
公司营业收入高速增长，2018-2022年收入CAGR达到101%。公司专注于薄膜沉积设备领域，持续拓展下游应用领域。近年来受益于光伏行业的快速发展，公司持续推出符合市场需求的高性能产品，销售规模实现了高速增长，2018-2022年公司营业收入从0.42亿元增长至6.85亿元，CAGR为101.03%；归母净利润于2019年扭亏实现盈利0.55亿元后保持稳定，2022年归母净利润为0.54亿元，2020年起公司加大人才引入力度和产品应用领域拓展，费用金额快速上升，导致最终净利润水平有所波动。2022年公司主要产品在光伏PERC及TOPCon等新型高效电池技术领域、半导体领域的销量大幅增长，带动收入规模快速增长，全年实现营收6.85亿元，同比增长59.96%，归母净利润0.54亿元，同比增长17.43%。受下游扩产以及产品验收节奏影响，2023Q1公司实现营收0.76亿元，同比下降42.65%，归母净利润为-0.01亿元，同比下降141.75%。
新签订单大幅增长，未来业绩增长有保障。截至2022年12月底，公司在手专用设备订单22.93亿元，其中光伏设备、半导体设备、其他设备订单分别为19.67亿元、2.57亿、6881万元。2023年1月初至年报披露日，公司新增专用设备订单22.74亿元，其中光伏设备、半导体设备、其他设备新增订单分别为20.16亿元、2.42亿元、1580万元。2022年下半年以来TOPCon电池大扩产趋势明确，公司受益于此实现了光伏设备订单的快速增长；与此同时，公司积极推进半导体设备验证，订单量持续攀升贡献增量。我们认为，随着销售规模的持续扩大，各项费用成本或将摊薄，公司业绩表现有望稳中向好。
2022年公司营业收入6.85亿元，同比+59.96%
资料来源：公司资料
2022年公司归母净利润0.54亿元，同比+17.43%
资料来源：公司资料
收入构成逐渐多元化，产品拓展成效逐步显现。从公司收入的产品构成来看，光伏ALD设备贡献公司主要的收入来源，2019-2020年公司专用设备收入均为光伏ALD设备，2021年ALD设备销售收入占专用设备收入比例为45.32%，2022H1进一步降低至44.18%。公司PECVD设备、PEALD二合一设备于2020年开发完成，而后产品取得了相应订单并于2021年开始实现销售，2021年光伏PECVD设备、PEALD二合一设备、半导体ALD设备均实现了收入确认，为收入增长带来增量，整体产品结构多元化程度实现了较大的提升。此外，随着TOPCon等新型高效电池技术路线确定、成熟度提高，下游客户新型高效电池扩产计划加速，公司2022年ALD设备的订单数量大幅增长。此外，设备改造业务主要受光伏电池硅片大尺寸化趋势、公司臭氧工艺的推广以及新工艺开发及应用情况等因素影响，预计设备改造业务规模会随着设备累计销量增加而持续增长。
产品结构变动影响近年来毛利率有所下降。从毛利率的绝对数值来看，公司整体毛利率保持在40%以上的较高水平，体现出公司产品的市场竞争力强劲。从变化趋势来看，2018-2020年公司毛利率稳定保持在52%左右的水平，2021年毛利率同比下滑6.13pct至45.77%，主要由于新推出的PECVD设备和PEALD二合一平台设备毛利率偏低所致；相关产品开发完成时，新型高效电池的具体技术路线尚未成为行业共识，设备产品在新型高效电池产业化应用的成熟度也有待提高，因此公司首先将其在PERC电池领域进行推广，而相关产品于PERC技术路线的应用在市场上已存在成熟的竞争方案，参考市场水平定价，毛利率偏低。2022年下半年以来TOPCon电池大扩产的趋势逐步明确，公司应用于新型高效电池的设备有望更充分地发挥出产品潜力，毛利率有望提升，带动整体盈利能力实现优化。
公司毛净利率变动情况
资料来源：公司资料
公司各业务毛利率变动情况
资料来源：公司资料
