芯源微：国内中高端涂胶显影设备领导厂商，2021Q1营收实现跨越式增长

——芯源微成立于 2002 年，主要生产光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，芯源微产品可广泛应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV 等领域，产品填补了国内空白并实现了进口替代。芯源微先进封装用涂胶显影机、前道涂胶显影机等产品打破了国外垄断，下游客户覆盖国内大部分 LED芯片制造企业和高端封装企业。近年来，公司不断推进前道涂胶显影设备及前道清洗设备的工艺验证及产业化落地，是国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的企业。

公司产品演变与技术路径

资料来源：公司资料

目前芯源微主要产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），产品可用于集成电路制造前道晶圆加工及后道先进封装环节的 8/12 英寸单晶圆处理以及 6 英寸及以下晶圆处理（化合物、MEMS、LED芯片制造等环节）。

产品打破国外垄断。芯源微生产的涂胶/显影机在 LED 芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已在国内一线大厂广泛应用；通过多年技术积累，成功突破了包括凸点封装工艺相关的超厚光刻胶膜的涂覆、显影、单片湿法多工艺药液同腔分层刻蚀以及 193nm（ArF）光刻工艺超薄胶膜均匀涂敷、精细化显影、精密温控热处理等在内的多项核心关键技术，开发出国产涂胶显影设备并实现量产，成功打破国外厂商垄断，降低国内客户采购成本和对国外设备的依赖。

硬核技术优势，打入一线大厂。芯源微产品已实现批量销售，截至2021年4月，已累计销售1000余台套。公司的后道涂胶显影设备和单片式湿法设备，目前作为主流机型已成功打入包括台积电、长电科技、华天科技、通富微电、晶方科技、华灿光电、乾照光电、澳洋顺昌、中芯绍兴、中芯宁波、中芯绍兴、中芯宁波等在内的多家国内知名一线大厂。

公司的前道涂胶显影设备在2020年陆续获得上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上上海华力、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单及应用。

单片式湿法设备方面，公司的用于前道晶圆加工领域的单片式清洗机机SpinScrubber设备已经达到国际先进水平，在晶圆正反面清洗技术方面，公司设备可满足28nm制程的技术要求并在客户端稳定运行，内部微环境精确控制技术已经与国际一流企业持平，已在中芯国际、上海华力，厦门士兰集科中芯国际、上海华力，厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证，并已获得国内多家Fab厂商的批量重复订单。

——芯源微第一大股东为沈阳先进制造技术产业，沈阳先进制造两位股东分别为持股 82.86%的郑广文及持股 17.14%的沈阳天广投资，其中郑广文又持有沈阳天广 70%的股份，因此郑广文直接及间接持有芯源微16.18%的股份。郑广文曾从事汽车销售行业，逐步拓展至高端制造领域。芯源微 2002 年由中科院沈阳自动化研究所发起创建，目前中科院沈自所持有芯源微12.5%的股份，为公司第二大股东，芯源微无实际控制人和控股股东。

芯源微的高级管理人员均拥有丰富的半导体专业知识和从业背景。董事长兼总经理宗润福先生，是二级研究员，享受国务院政府特殊津贴。先后担任中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部工程师、造价组组长、控制工程部副组长、中国科学院沈阳自动化研究所控制工程部主任、中国科学院沈阳自动化研究所科技处处长、室主任。副总经理兼首席技术官陈兴隆先生，获机械与航空工程专业博士学位，高级工程师，入选辽宁省“兴辽英才计划”创新领军人才。曾于美国应用材料担任资深工程经理，于韩国三星电子芯源微生产技术研究所担任首席工程师，于 SEMES America Inc.担任技术创新官，半导体先进设备领域经验丰富。

——受益于半导体下游应用市场需求增长，LED 芯片和集成电路制造的产能扩张，同时近年来半导体产能逐渐向中国大陆迁移，芯源微凭借硬核技术和优质产品与服务，业绩表现稳健增长。芯源微 2016~2020 年收入由 1.48 亿元增长至 3.29 亿元，复合增速为 22%。

2021Q1营收实现跨越式增长。2021Q1公司实现营收1.13亿元，同比大幅提升1229.7%，2020Q1 为 852.9 万元。一季度营收大幅增长主要得益于前道产品放量，2021Q1 前道光刻涂胶显影机和清洗机验收确认合计占营收比重超过 50%，今年订单饱满。随着公司不断导入客户，通过工艺验证获得批量重复订单，产品由后道向前道延伸，以及国产化力度加大，公司营收有望迈上新的台阶。一季度归母净利润 650.4 万元，去年同期为亏损786.9 万元，

芯源微营收情况

资料来源：公司资料

芯源微归母净利润情况

资料来源：公司资料

从产品上看，芯源微的主营业务收入主要来自于两大类产品：（1）光刻工序涂胶显影设备（包括涂胶显影机和喷胶机）。（2）单片湿法设备（包括湿法刻蚀机、去胶机和清洗机）。随着公司产品不断向前道延伸，公司涂胶显影机单价自2017年以来持续提升。芯源微在2016年收入主要来自于中国港澳台地区，随着半导体市场产能向中国大陆的迁移，中国大陆的销售收入占比逐年提升，2020年大陆地区主营业务占比达到99.5%。

芯源微收入占比情况（百万元）

资料来源：公司资料

2016-2019 年公司毛利率稳步提升，2020 年综合毛利率下降 4.26%至 41.95%，主要是因为单片式湿法设备毛利率的下降。2020 年公司单片式湿法设备中的去胶机收入下降，根据公司招股书，2018 年去胶机毛利率 49.66%，高于单片式湿法设备平均，产品组合变化导致整体毛利水平略有下降。公司 2016 年以来净利率稳中有升，2021Q1 由于非限制性股票激励影响净利率下降至 5.7%。