纳米薄膜（PECVD薄膜）产品特性、下游应用及其生产工艺、市场前景分析
纳米薄膜是指由尺寸为纳米数量级的组元（1-100nm）镶嵌于基体所形成的薄膜材料，1）按层数划分，分为纳米单层薄膜和纳米多层薄膜；2）按微结构划分，分为纳米微粒薄膜和纳米厚度薄膜；3）按组分划分，分为有机纳米薄膜和无机纳米薄膜；4）按薄膜的构成与致密性划分，分为纳米颗粒薄膜与纳米致密薄膜。当粒子的尺寸减小到纳米量级，其声、光、电、磁、热、气敏等性能将呈现新的特性，如光学特性表现为吸收光谱的蓝移与红移，如电磁学特性表现为单轴磁各向异性和巨磁电阻效应等，因此纳米薄膜在消费电子、医疗器械、汽车电子、光学材料等领域有着广阔的应用。
纳米薄膜特性表现及行业应用
资料来源：CNKI，立鼎产业研究中心
相较于其它化学气相沉积技术，PECVD技术制备的膜层更均匀、表面质量更好、应用范围更广。化学气相沉积根据反应条件、所用材料的不同，主要可分为五类：常压化学气相沉积（APCVD）、低压化学气相沉积（LPCVD）、金属有机化学气相沉积（MOCVD）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）以及原子层沉积（ALD）。其中，等离子体是由阳离子、中性粒子、自由电子等多种不同性质的粒子所组成的电中性物质（其中阴离子和阳离子电荷量相等），是除去固、液、气外，物质存在的第四态，是物质的高能状态。PECVD是指采用等离子体处理的方式将反应性气体激活，随后通过化学反应沉积薄膜层。PECVD技术特点包括：1）沉积温度低；2）能降低因膜/基材料线膨胀系数不匹配所产生的内应力，薄膜与衬底结合力好，可以在不同复杂形状的基板上沉积各种薄膜；3）沉积速率相对较高，利于形成高致密度、高性能的薄膜；4）操作方法灵活，工艺重复性好。PECVD应用在不断发展和扩大，可用于制造半导体中的绝缘和钝化膜（如等离子氮化硅膜）、非晶硅太阳能电池、高分子薄膜、耐磨抗腐蚀的TiC膜、氧化铝阻隔膜等。
不同化学气相沉积技术对比
资料来源：菲沃泰，立鼎产业研究中心
PECVD纳米薄膜在各个应用领域均有着广阔的市场空间。较于普通聚合技术，PECVD聚合技术能形成具有高密度网络结构的纳米薄膜，且可根据不同下游需求定制出具有防护、透光、减阻等不同特性的材料。从行业广度来看，PECVD聚合纳米薄膜材料的防水、防腐蚀、阻气功能已经在智能手机、耳机、电子阅读器、可穿戴设备、无人机等电子消费品领域获得了广泛应用，除此之外，其在光学仪器、汽车电子、医疗器械等各行业领域也有着广阔的应用前景，例如汽车工业中的胎压传感器保护、方向盘开关表面保护、电池防水，医疗领域的助听器组件防水、医疗器械组件防护。从行业深度来看，PECVD聚合纳米薄膜在各个细分应用领域已从整机、结构件的表面防护逐渐渗透到内部元器件、电路板及芯片的保护，从整机到零部件的深入渗透打开了纳米薄膜广阔的市场空间。
——消费电子领域：随着消费电子产品性能的持续提升，使用工况的愈加复杂，消费电子产品内部电路板防水、防潮、防腐蚀以及外部机身防水、防磨等需求持续提升，叠加TWS耳机、手机等产品持续扩张，PECVD聚合纳米薄膜需求持续增长。
——新能源车领域：新能源车领域对PECVD的需求主要集中于汽车电子及汽车部件防护中。由于PECVD聚合纳米薄膜优异的电子防护性能，其在新能源车BMS系统、升压充电系统、中控系统等电子部件中均存在较大的应用空间，并有望在未来为PECVD聚合纳米薄膜贡献市场规模。此外，汽车灯罩及内饰面由于存在耐磨、增硬的防护需求，PECVD聚合纳米薄膜可通过调整薄膜配方实现相应防护。
——光伏领域：由于光伏发电设备所处工作环境多样性高，盐雾、灰尘、水汽等外部因素将会对光伏组件形成腐蚀或减小光伏组件透光性，从而影响光伏组件发电效率。PECVD聚合纳米薄膜能够为光伏组件提供防腐蚀、防水、防潮气等防护，在相关应用落地后有望依托于全球光伏市场的高景气度迎来市场空间放量高增。
