2022年版全球及中国刻蚀机行业市场研究报告

报告编号：13223

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晶圆制造设备从类别上讲可分为刻蚀、光刻、薄膜沉积、检测、涂胶显影等，其合计投资总额通常约占晶圆厂投资总额75%，其中刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。
刻蚀技术分为湿法刻蚀和干法刻蚀，湿法刻蚀各向异性较差，侧壁容易产生横向刻蚀造成刻蚀偏差，通常用于工艺尺寸较大的应用，或用于干法刻蚀后清洗残留物。目前主流刻蚀技术，以等离子体干法刻蚀为主导。随着集成电路芯片制造工艺的进步，线宽不断缩小、芯片结构3D化。普遍使用的浸没式光刻机受到波长限制，14纳米及以下逻辑器件微观结构加工将通过等离子体刻蚀和薄膜沉积工艺多重模板效应来实现，使得加工步骤增多。刻蚀机有望成为更关键且投资占比最高设备。

蚀工艺的目的是把图形从光刻胶转移到待刻蚀的薄膜上。在干刻工艺中，根据等离子体产生和控制技术的不同，又分为电容耦合等离子体CCP刻蚀机和电感耦合等离子体ICP刻蚀机。1）电容耦合等离子体CCP刻蚀机和电感耦合等离子体ICP刻蚀机，两种刻蚀机由于等离子体产生的方式不同，刻蚀机的结构、性能特点也存在比较大的差异。两者之间各有所长，互相之间并非替代性关系，而是互补关系。2）电容型刻蚀机即CCP利用电容耦合产生等离子体，这种等离子密度较低，但能量较高，适合刻蚀氧化物、氮氧化物等较硬介质材料和掩膜等。在集成电路结构中有底层器件和上层线路，底层器件只有一层，而上层线路则有几十层，电容耦合型刻蚀机属于上层线路刻蚀工作。3）电感耦合性刻蚀机即ICP利用电感耦合产生等离子体。这种等离子密度高，能量较低，但调控起来更灵活，可独立控制离子密度和能量，适合刻蚀单晶硅、多晶硅、金属等硬度不高或比较薄的材料。电感耦合性刻蚀机属于下层器件刻蚀工作。当前市场普遍使用沉浸式光刻机受波长限制，关键尺寸无法满足要求，须采用多重模板工艺，利用刻蚀工艺实现更小尺寸，使得刻蚀技术及相关设备更加重要。

第一章 刻蚀机行业概述
　　第一节 刻蚀机定义
　　第二节 刻蚀机分类
　　第三节 刻蚀机应用领域
　　第四节 刻蚀机产业链结构
　　第五节 刻蚀机行业新闻动态分析

第二章 刻蚀机行业运行环境
　　第一节 刻蚀机行业发展经济环境分析
　　第二节 刻蚀机行业发展社会环境分析
　　第三节 刻蚀机行业发展政策环境分析
　　第四节 刻蚀机行业发展技术环境分析
第五节 刻蚀机行业发展产业环境分析

第三章 全球刻蚀机行业供需情况分析、预测
　　第一节 全球主要刻蚀机厂商分布状况分析
　　第二节 全球刻蚀机行业产量统计
　　第三节 全球刻蚀机行业需求情况分析
　　第四节 全球刻蚀机行业产量预测分析
　　第五节 全球刻蚀机行业需求情况预测分析

第四章 中国刻蚀机行业供需情况分析、预测
　　第一节 中国主要刻蚀机厂商分布状况分析
　　第二节 中国刻蚀机行业产量统计
　　第三节 中国刻蚀机行业需求情况分析
　　第四节 中国刻蚀机行业产量预测分析
　　第五节 中国刻蚀机行业需求情况预测分析

第五章 中国刻蚀机行业进出口情况分析、预测
　　第一节 中国刻蚀机行业进出口情况分析
　　　　一、刻蚀机行业进口状况分析
　　　　二、刻蚀机行业出口状况分析
　　第二节 中国刻蚀机行业进出口情况预测分析
　　　　一、刻蚀机行业进口预测分析
　　　　二、刻蚀机行业出口预测分析
　　第三节 影响刻蚀机行业进出口变化的主要因素

第六章 中国刻蚀机行业总体发展情况分析
　　第一节 中国刻蚀机行业规模情况分析
　　　　一、刻蚀机行业单位规模情况分析
　　　　二、刻蚀机行业人员规模状况分析
　　　　三、刻蚀机行业资产规模状况分析
　　　　四、刻蚀机行业市场规模状况分析
　　　　五、刻蚀机行业敏感性分析
　　第二节 中国刻蚀机行业财务能力分析
　　　　一、刻蚀机行业盈利能力分析
　　　　二、刻蚀机行业偿债能力分析
　　　　三、刻蚀机行业营运能力分析
　　　　四、刻蚀机行业发展能力分析

第七章 中国刻蚀机行业重点区域发展分析
　　　　一、中国刻蚀机行业重点区域市场结构变化
　　　　二、重点地区（一）刻蚀机行业发展分析
　　　　三、重点地区（二）刻蚀机行业发展分析
　　　　四、重点地区（三）刻蚀机行业发展分析
　　　　五、重点地区（四）刻蚀机行业发展分析
　　　　六、重点地区（五）刻蚀机行业发展分析

第八章 刻蚀机行业细分市场调研
　　第一节 细分（一）市场调研
　　　　一、发展现状调研
　　　　二、发展趋势预测分析
　　第二节 细分（二）市场调研
　　　　一、发展现状调研
　　　　二、发展趋势预测分析

第九章 刻蚀机行业上、下游市场调研分析
　　第一节 刻蚀机行业上游调研
　　　　一、行业发展现状调研
　　　　二、行业集中度分析
　　　　三、行业发展趋势预测分析
　　第二节 刻蚀机行业下游调研
　　　　一、关注因素分析
　　　　二、需求特点分析

第十章 中国刻蚀机行业产品价格监测
　　　　一、刻蚀机市场价格特征
　　　　二、当前刻蚀机市场价格评述
　　　　三、影响刻蚀机市场价格因素分析
　　　　四、未来刻蚀机市场价格走势预测分析

第十一章 刻蚀机行业重点企业发展情况分析
　　第一节 重点企业（一）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划
　　第二节 重点企业（二）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划
　　第三节 重点企业（三）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划
　　第四节 重点企业（四）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划
　　第五节 重点企业（五）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划
　　第六节 重点企业（六）
　　　　一、企业概况
　　　　二、企业主要产品
　　　　三、企业销售网络
　　　　四、企业经营状况分析
　　　　五、企业发展规划

第十二章 刻蚀机企业发展策略分析
　　第一节 刻蚀机市场策略分析
　　　　一、刻蚀机价格策略分析
　　　　二、刻蚀机渠道策略分析
　　第二节 刻蚀机销售策略分析
　　　　一、媒介选择策略分析
　　　　二、产品定位策略分析
　　　　三、企业宣传策略分析
　　第三节 提高刻蚀机企业竞争力的策略
　　　　一、提高中国刻蚀机企业核心竞争力的对策
　　　　二、刻蚀机企业提升竞争力的主要方向
　　　　三、影响刻蚀机企业核心竞争力的因素及提升途径
　　　　四、提高刻蚀机企业竞争力的策略
　　第四节 对我国刻蚀机品牌的战略思考
　　　　一、刻蚀机实施品牌战略的意义
　　　　二、刻蚀机企业品牌的现状分析
　　　　三、我国刻蚀机企业的品牌战略
　　　　四、刻蚀机品牌战略管理的策略

第十三章 刻蚀机行业投资情况与发展前景预测
　　第一节 刻蚀机行业投资情况分析
　　第二节 刻蚀机行业投资机会分析
　　　　一、刻蚀机投资项目分析
　　　　二、可以投资的刻蚀机模式
　　　　三、刻蚀机投资机会分析
　　　　四、刻蚀机投资新方向

第十四章 刻蚀机行业进入壁垒及风险控制策略
　　第一节 刻蚀机行业进入壁垒分析
　　　　一、技术壁垒
　　　　二、人才壁垒
　　　　三、品牌壁垒
　　第二节 刻蚀机行业投资风险及应对措施
　　　　一、刻蚀机市场风险及应对措施
　　　　二、刻蚀机行业政策风险及应对措施
　　　　三、刻蚀机行业经营风险及应对措施
　　　　四、刻蚀机同业竞争风险及应对措施
　　　　五、刻蚀机行业其他风险及应对措施

第十五章 刻蚀机行业研究结论
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