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发布时间：2022-05-24
炉管设备市场规模28亿美元，日、美企业垄断。炉管（furnace）是半导体工艺中广泛应用于氧化、扩散、薄膜生长、退火、合金等工艺的设备，分为卧式和立式两种。立式炉按照工艺压力和应用可以分为常压炉和低压..
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发布时间：2022-05-24
炉管设备市场规模28亿美元，日、美企业垄断。炉管（furnace）是半导体工艺中广泛应用于氧化、扩散、薄膜生长、退火、合金等工艺的设备，分为卧式和立式两种。立式炉按照工艺压力和应用可以分为常压炉和低压..
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